氦質(zhì)譜檢漏儀維修機(jī)械泵故障及處理。

1.機(jī)械泵不動。

檢查項目包括：氦質(zhì)譜泄漏檢測器電源電壓是否正常，開關(guān)是否打開，繞組是否斷路或接地，電機(jī)是否過熱（泵冷卻后是否可啟動）。

2.機(jī)械泵聲音異常。

檢查油位是否合適，油質(zhì)是否變質(zhì)，油溫是否變質(zhì)。

氦質(zhì)譜檢漏儀分子泵故障及處理。

1.TMP在儀器界面上顯示0，即分子泵不工作。

可能是前壓（分子泵啟動壓力為200Pa）可能導(dǎo)致分子泵無法啟動。檢查壓力過高的項目包括：真空管是否有問題，分子泵出口是否打開，機(jī)械泵油是否太臟，機(jī)械泵是否旋轉(zhuǎn)，系統(tǒng)是否泄漏。分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子也可能損壞。您可以用工具撥動葉片，以確定葉片是否可以旋轉(zhuǎn)。

2.分子泵加速指示燈不亮。

電路板上的保險絲燒壞，更換保險絲或檢查是否有短路。

3.分子泵故障燈亮。

檢查電路板設(shè)置開關(guān)是否在R位置，此時應(yīng)在N位置。檢查風(fēng)扇是否停止。如果風(fēng)扇正常，氦質(zhì)譜泄漏檢測器分子泵的電源可能出現(xiàn)故障。

氦質(zhì)譜檢漏儀質(zhì)譜室故障及處理。

1.燈絲不能正常啟動。在確認(rèn)機(jī)械泵。分子泵處于正常工作狀態(tài)后，如果燈絲仍不能發(fā)射離子流，則需要更換離子源。如果燈絲指示燈閃爍，檢查離子源航空插座和接線柱是否開路。如果開路，需要更換燈絲。如果不開路，檢查接線柱是否與其他接頭連接，以消除短路。

2.底部信號處于混亂的波動狀態(tài)，尺寸遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過氦質(zhì)譜泄漏檢測器故障本身的底部噪聲，需要考慮放大器是否故障。一般用戶無法解決質(zhì)譜室的故障，只需定位故障并移交維修ZX。

氦質(zhì)譜檢漏儀檢測開始時出現(xiàn)故障。

1.檢漏鍵無效(綠色指示燈亮)

檢查燈絲是否啟動。若燈絲未啟動或斷開，按檢漏鍵無反應(yīng)。

2.檢漏鍵無效(指示燈不亮)

I/O短接插頭未插入氦質(zhì)譜泄漏檢測器故障后面的插座。如果I/O短接插頭未插入儀器后面的插座，氦質(zhì)譜泄漏檢測器將接受I/O口輸入信號遙控信號，檢漏鍵無效。

氦質(zhì)譜檢漏儀自動校準(zhǔn)結(jié)束時的故障。

自動校準(zhǔn)失敗（燈絲亮）紅色校準(zhǔn)燈亮。首先，檢查自動校準(zhǔn)設(shè)置，開關(guān)S1是否處于OFF位置，設(shè)置的泄漏值是否與標(biāo)準(zhǔn)泄漏值一致。溫度傳感器是否連接；二是檢查靈敏度，清潔質(zhì)譜室（如果外部校準(zhǔn)泄漏檢查顯示值與實際值一致，也可使用氦質(zhì)譜泄漏檢查儀）。

氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏故障。

1.檢漏口壓力不轉(zhuǎn)換為細(xì)檢方式。

2.靈敏度低。檢查三極規(guī)測量的壓力，等待質(zhì)譜室壓力。

3.氦的底部太高了。檢查機(jī)械泵油是否失效（泵油長期變質(zhì)會吸收更多氦，導(dǎo)致氦污染），檢查儀器系統(tǒng)是否泄漏，真空管道是否污染，三極規(guī)壓力是否達(dá)到10-6mpa，離子源是否污染。此外，還應(yīng)注意環(huán)境污染問題。如果有多個氦質(zhì)譜泄漏檢測器，氦的使用量大，通風(fēng)不良，導(dǎo)致氦擴(kuò)散緩慢，也會導(dǎo)致氦污染。解決方案是在泄漏檢測出口的排氣閥出口（通常通過大氣）安裝一個容量為幾升的氣瓶，與低壓氦管連接。這大大減少了環(huán)境氦污染。

4.工具設(shè)計不合理，導(dǎo)致泄漏檢測失敗。初步檢查工作正常，工作幾次后，抽樣速度大大減慢，泄漏檢測失敗；加上氦質(zhì)譜泄漏檢測器不泄漏，工作正常。這是由于工具設(shè)計不合理造成的，如工具結(jié)構(gòu)不合理、內(nèi)表面粗糙、氦殘留過多；或密封設(shè)計不合理（由于工具設(shè)計師不熟悉專業(yè)真空設(shè)計）。

5.操作不合理導(dǎo)致故障。例如，在工作中，有一個大泄漏工件，由于操作人員判斷錯誤，不認(rèn)為工件泄漏，并檢查工具的連接或氦質(zhì)譜泄漏檢測器，多次檢查工件泄漏。所以你會發(fā)現(xiàn)所有的工件都只是。原因是大泄漏工件經(jīng)過多次泄漏檢測，大量氦進(jìn)入質(zhì)譜室，造成質(zhì)譜室污染。解決辦法是清潔質(zhì)譜室，反復(fù)吸氣和排氣。